装置・製品情報
変わらない安心感を形に
変わる期待感で
未来を見据える
ミヤ通信工業のプロダクト
Licensed Equipment
ライセンス装置
製造元よりライセンスを受けることで既存プロセスを変更せず、生産持続可能なアッシング装置を提供します。
- 実績あるプロセスチャンバを搭載し、プロセス互換性を確保
- PLC制御に一新し信頼性と保守性を向上
MG6500R、MG8500R、MG200はデモ機を準備しており、装置導入検討のための評価や有償加工が可能です。
バッチアッシング装置
MG6500R
オリジナルメーカ：株式会社KOKUSAI ELECTRIC 様
型名 RAM6500
オリジナルから主な変更ポイント
・制御系、搬送RBT、EOL部材の一新
装置概要
・13.56MHz 同軸バレル型 1チャンバー
・6Φ(150mm)バッチ式アッシャー（50Wafer）
バッチアッシング装置
MG8500R
オリジナルメーカ：株式会社KOKUSAI ELECTRIC 様
型名 RAM8500
オリジナルから主な変更ポイント
・制御系、搬送RBT、EOL部材の一新
装置概要
・13.56MHz 同軸バレル型 1チャンバー
・8Φ(200mm)バッチ式アッシャー（50Wafer）
枚葉アッシング装置
MG200
オリジナルメーカ：株式会社KOKUSAI ELECTRIC 様
型名 λ3000 Ⅱ
オリジナルから主な変更ポイント
・制御系、真空RBT、SMIFローダ、EOL部材の一新
装置概要
・27.12MHz ICP 2チャンバー
・8Φ(200mm)枚葉式アッシャー
Original Solution
オリジナルソリューション
培ってきたプラズマ技術と装置開発のノウハウを活かし、高性能・高信頼性と優れたコストパフォーマンスを兼ね備えたアッシング装置を提供します。